Anel cerâmico molar semicondutor

Descrição dos produtos O anel cerâmico molar semicondutor normalmente se refere a um componente cerâmico crítico usado na fabricação de semicondutores e em equipamentos eletrônicos de alta-potência. O termo "Molar" em seu nome provavelmente se origina de uma marca ou série específica, geralmente referindo-se a...

Descrição dos produtos

O anel cerâmico molar semicondutor normalmente se refere a um componente cerâmico crítico usado na fabricação de semicondutores e em equipamentos eletrônicos de alta-potência. O termo "Molar" em seu nome provavelmente se origina de uma marca ou série específica, geralmente referindo-se a peças estruturais-em formato de anel feitas de materiais cerâmicos de alto-desempenho (como alumina, nitreto de alumínio, nitreto de silício, etc.). Aproveitando sua excelente estabilidade física e química, esses anéis cerâmicos desempenham funções essenciais, como isolamento, vedação, suporte-de carga e transferência de calor em ambientes industriais agressivos. Eles são componentes essenciais para garantir a operação estável e confiável de câmaras de processo de semicondutores, equipamentos de gravação, equipamentos de deposição e módulos de potência.

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Desempenho principal

Excelente Isolamento Elétrico: Possui resistividade de volume e rigidez dielétrica extremamente altas, isolando efetivamente a alta tensão, evitando vazamento de corrente e garantindo a segurança do equipamento.
Excelente estabilidade térmica: apresenta resistência proeminente a altas-temperaturas (muitas vezes capaz de operação de longo-prazo acima de 1.000 graus), baixo coeficiente de expansão térmica, resistência a rachaduras sob ciclos térmicos rápidos e boa resistência a choques térmicos.
Alta resistência mecânica: Alta dureza, boa resistência ao desgaste, com boa resistência à flexão e compressão, capaz de suportar certos esforços mecânicos e pressões de montagem.
Excelente inércia química: Oferece excelente resistência à maioria dos gases corrosivos, plasmas e ambientes ácidos/alcalinos fortes, minimizando reações químicas ou contaminação do ambiente do processo.
Bom desempenho de vedação a vácuo: mantém um desempenho de vedação estável sob condições de alta-temperatura e alto-vácuo, atendendo aos requisitos de ultra-alto vácuo dos processos de semicondutores.
Propriedades ideais de gerenciamento térmico: Alguns tipos de alta condutividade térmica (por exemplo, anéis cerâmicos de nitreto de alumínio) possuem alta condutividade térmica, conduzindo e dissipando efetivamente o calor gerado durante a operação do equipamento.

Parâmetros típicos

Material: Common materials include high-purity alumina (Al₂O₃, content >96%), nitreto de alumínio (AlN), nitreto de silício (Si₃N₄), etc.

Faixa de tamanho: O diâmetro interno pode variar de vários milímetros a várias centenas de milímetros; o diâmetro externo e a altura são personalizados com base em designs específicos.

Temperatura operacional: Pode suportar temperaturas máximas de 1200 graus a 1800 graus (dependendo do material).

Condutividade Térmica: A alumina é de aproximadamente 20-30 W/(m·K); o nitreto de alumínio pode atingir 150-200 W/(m·K).

Resistividade de volume: Normalmente maior que 10¹² Ω·cm em temperatura ambiente.

Resistência Dielétrica: Geralmente da ordem de 10-20 kV/mm.

Resistência à flexão: Cerâmica de alumina cerca de 300-400 MPa; a cerâmica de nitreto de silício pode atingir 600-800 MPa.

ceramicstimes performance parameter

Aplicativos primários

Equipamento de fabricação de semicondutores: Amplamente utilizado em câmaras de processo de equipamentos como gravação de plasma (Etch), deposição química de vapor (CVD) e deposição física de vapor (PVD). Serve como anéis de isolamento, anéis de foco, revestimentos de câmara ou anéis de proteção para confinar o plasma, proteger as paredes da câmara, homogeneizar o ambiente do processo e evitar a contaminação por partículas.
Módulos eletrônicos de potência: usados no empacotamento de dispositivos como IGBTs, LEDs de alta{0}}potência e lasers como substratos isolados de dissipação de calor ou anéis de suporte para isolamento elétrico e dissipação de calor eficiente.
Sistemas de vácuo: usados para conexões isoladas, vedações de passagem e estruturas de suporte em sistemas de alto-vácuo ou ultra{1}}alto-vácuo.
Equipamento de processamento-de alta temperatura: serve como incubadoras, revestimentos de fornos ou elementos de suporte em fornos de sinterização e fornos de tratamento térmico.
Novas energias e campos de potência: usados em equipamentos de produção fotovoltaica de filme fino, pilhas de células de combustível e como componentes isolantes em equipamentos elétricos de alta-tensão.
Equipamentos Médicos e de Pesquisa: Atuam como componentes-chave em instrumentos analíticos, aceleradores e outros equipamentos de precisão que exigem alto vácuo, alto isolamento ou resistência à corrosão.